近日，我校光电与通信工程学院陈铖颖副教授与北京大学信息科学技术学院电子学系碳基电子学研究中心、纳米器件物理与化学教育部重点实验室张志勇-彭练矛联合课题组共同研发成功一款异质集成石墨烯磁传感器，并作为共同第一作者在著名期刊《美国化学学会.纳米》（ACS Nano）（2020年影响因子：14.588）上发表论文《基于石墨烯霍尔元件与硅基工艺电路异质集成的超灵敏磁传感器(Ultrasensitive Magnetic Sensors Enabled by Heterogeneous Integration of Graphene Hall Elements and Silicon Processing Circuits)》。

该项目组研发成功一种硅基CMOS集成电路和石墨烯霍尔元件的三维（3D）异质集成技术，实现了一款石墨烯霍尔传感器。经测试，石墨烯集成霍尔传感器的电流灵敏度和电压灵敏度达到了64000V/A.T和6.12V/V.T，远高于其他已报道的基于纳米材料的霍尔传感器。该传感器具有可调放大倍率功能和模数转换功能，具备与实际测量用途匹配、低噪声等优势。此外，该传感器中采用的石墨烯-硅基三维集成技术也可扩展为石墨烯传感器乃至其他纳米材料传感器与硅基CMOS集成电路的通用的集成技术。相关课题得到国家重点研发计划、国家自然科学基金，北京市科技计划等资助。(光电与通信工程学院）

异质集成石墨烯磁传感器芯片及磁场灵敏度测试结果